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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,集中供气管道安装设计,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高。特种气体产销量虽小,集中供气管道安装设计厂家,但根据不同的用途,对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求,属于高技术,高附加值产品。
高纯气体(High Purity Gases),通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,集中供气管道安装设计怎么样,纯度指标不同,例如对于氮,氢,Ar,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气,纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物,纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
管道系统的布置方式
各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道,干管是指从总管分送到各单元的管道,支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道,各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。
管道系统设计的考虑因素
科学合理的管道系统设计,可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。
1.管道系统的布置方式
合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置,将楼层高降到底线,尽量减少输送和排放管道的交叉次数,降低建筑投资成本。
2.管道系统的维护问题
必须预留维修的空间,方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。
3.管道系统未来的改变
必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加,适应未来发展的需要。
4.管道系统的效率
尽量使各种管线短捷、经济合理,提升效率,降低运行费用与管道系统的投资费用。
5.建筑的形象设计
管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量,集中供气管道安装设计怎么用,可采用实验室模块分散式管井,也可采用集中式大型竖井,必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要,曹勇美观的管道系统。
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