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洁净车间高纯气体管道的安装、施工?
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此,要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内精心保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑,真空管道,无局部凹陷,无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,真空管道的作用,螺纹处密封、保护是否良好。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i证书和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的深度。
8)橡胶、塑料等非金属垫片,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。
实验室供气系统设计要点
(1)通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,保证仪器用气的纯度。
(2)集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力大大降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是保证仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,真空管道供应商,保证了仪器使用的稳定性。
(3)由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,真空管道怎么用,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。
高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体CaCl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。
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