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其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
随着经济的发展和市场对标准气体日益增长的需要,标准气体的种类越来越多,复杂程度也越来越高,其应用领域涉及到石油化工、勘探、冶金、机械制造、电子、煤炭、电力、环保等领域(工艺气体或标准气体)。近年来,在标准气体的制备过程中经常会发生一些意想不到的事故,不仅造成了人身伤害,同事也造成了巨大的财产损失。因此,了解和掌握气体及材料的性质,氦气怎么用,合理设计充装工艺,制定严格的操作程序,清楚地i标识气瓶的危害性,才能确保制备和使用标准气体过程中的安全。
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