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特气管道工程
特气就是特种气体,指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气(含21%氧,78%氮,1%水、二氧化碳等),其纯度一般在99.99%(4N)以上。
特气管道施工一般分为主系统,二次配主系统,根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险,只要根据客户要求按照规范去施工,二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工,一般都会在无尘室进行,二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质,我们在无尘室施工,要在客户工程师的陪同下进行,对于无尘室的阀门及类似阀门的开关,不要乱动,无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置,一旦有气体泄露,我们应丢下手中任何工作,通过安全指示撤出无尘室。
实验室气体的危险性:
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2、多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
4、多数气瓶出口压力可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激i射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,气体管道选择,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/S,气体管道压力,可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,苏州气体管道,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,气体管道系统,以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置必要的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。
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