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气体汇流排体现了哪些优势?
气体汇流排是一种集中式或空气供给装置,它是唯i一的通过阀,多缸气管道连接到母线槽,以便在同一时间,在这些气体钢瓶。或减压后,后用气管道末端稳定,气体减压器好不好,确保空气压力稳定气体用具的调节,实现不间断供气的目的。气车适用于大型企业的天i然气消费,原则是瓶装气排气管的软管卡箍,通过输入一个总线减压后,调节,通过管道输送至网站的使用,本产品适用于介质中的氧,气体减压器哪家好,氢,氮,空气,液i化石i油气,溶解乙i炔气体,主要用于工矿企业,医i疗机构,研究机构和其他天i然气消费大单位。
1、采用总线可以节省筒更换次数,降低了工人的劳动强度,节约了劳动成本。
2、让高压气体集中管理,可以减少安全隐患。
3、可以节省空间,空间的合理使用更好的。
4、容易气体汇流排管理。
现在实验室常会用到各类分析仪器,这些仪器都需要使用载气和燃料气,这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,ICP等等,这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,气体减压器哪里有,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。
目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,气体减压器,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
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