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气体管道工程施工有什么标准?
1.所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成,并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。
2.所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成,铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)
3.根据实验室的用气量,计算供气压力、流量和管道的内径,所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端,原则上不低于6.35mm(1/4in,也可根据实际使用量而定)。
4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外,气体管道安装厂家,对于供应多台分析仪器的气体管路,另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。
5.气体管路的支架要求耐腐蚀,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置。
6.所有弯曲处都要有支撑。所有“U”性弯曲处根据安装情况,气体管道安装,需要有支撑。
气体管道工程泄漏检查的方法有哪些?
气体管道(gas pipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设在气体入口室。
Ai级试漏
对气路严重泄漏的粗略观察。通常在气源打开并稳定之后,不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声,如听到明显的漏气声,说明系统有大漏!必须依据漏气声,追查出泄漏处,并加以排除。引起系统大漏的常见原因是:气路接头没上紧,气体管道安装怎么样,气路中管路开裂及没加合适的垫片等。查找气路的严重泄漏,也可在流 路的流量开到顶值时,用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
B级试漏
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零,即可认为此气路B级试漏合格。如转子不能降到零,可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
C级试漏
对气路中极i小漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察系统压力表,不得在半小时之内有5kPa(相当于0.05kgf/cm2)以上的下降。此时系统压力应在0.25MPa(相当于2.5kgf/cm2)以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时,可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处,而气路阀件内部的泄漏也时有发生,至于管路中间的泄漏,除了急转弯处以外是很少见的。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,气体管道安装直销,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
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