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实验室气体的供气方式
采用中压供气,二级减压的供气方式,集中供气管道安装设计,气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa(管路压力1MPa),送至用气点,经二级减压后为0.3——0.5 MPa(根据仪器需求)送至仪器,供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
(1)对所有气体无渗透性
(2)吸附效应很少
(3)对所输送的气体呈化学惰性
(4)能快速使输送的气体达到平衡
注:化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响
316不锈钢是继304不锈钢之后,第二个得到广泛应用的钢种,具有较好的耐腐蚀性,耐高温,强度优i秀等特点,所以我们一直用 316无缝不锈钢管。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,集中供气管道安装设计报价,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,集中供气管道安装设计好不好,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,集中供气管道安装设计厂商,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
为什么要选择集中供气系统管路工程安装
集中供气系统属于实验室交钥匙工程的组成部分,各种气路管阀件和装置并焊接和安装。气源则由专门的气体公司或气瓶经销商提供。
目前大多数实验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气,沃飞集中供气系统的作用就是将气体安全、连特点续、稳定的供应到到各实验室中放置的分析仪器。
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