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理化性质: 六氟化硫(SF6)常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学安定性的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有极i好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,二氧化碳,其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,气体报警装置安装,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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