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高纯六氟化硫
用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;
变压器中的绝缘介质;
金属冶炼中的保护气氛;
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体,广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
工业混合气是近二十年来出现的新品种,用途非常广泛,但其分类尚未有统一标准。工业混合气包括自然合成和纯品配制两类。按其状态分为气态混合气体和液态混合气体。按其所含主要危险特性组份,一般可分为可燃性混合气、自燃性混合气、剧i毒性混合气和腐蚀性混合气等。
工业气体的常见物理特性,可归纳为:可压缩性和膨胀性。一定量的气体在温度基本保持不变时,所加的压力越大其体积就会变得越小,若继续加压,气体将会压缩成液体,这就是气体的可压缩性。工业气体通常以压缩或液化状态储存于钢瓶内。气体在光照或受热后,温度升高,分子间的热运动加剧,体积增大,若在一定容器内,氦气,气体受热的温度越高,其膨胀后形成的压力越大,这就是气体受热的膨胀性。压缩气体和液化气体盛装在容器内,如受高温、日晒,气体极易膨胀,产生很大的压力,当压力超过容器的耐压强度,昆山气体,就会造成爆i炸。因此,工业气体均具有极大的爆i炸危险性。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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