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气体管道设计规范

（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。

（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

（6）管道敷设要求

① 输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。

② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设，管道工程哪家好，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。

③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。

④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。

⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，管道工程价格，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。

⑦ 阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，管道工程公司，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的，并检查有无油脂污染，特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染，螺纹是否损坏，如发现有油脂或螺纹损坏，就不再使用该气瓶，并将这些情况通知供气单位，清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染，修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上，将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前，先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前，先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆，放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后，先关闭气瓶阀，然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好，逆时针方向旋转调节螺杆，一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动，不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，管道工程，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。