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高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,气体管道安装,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,气体管道工程安装公司,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
减压器的使用要点
(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。
(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,气体管道,清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。
(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。
(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。
(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。
(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。
(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。
(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。
(9) 减压器只能使用规定的气体。
实验室气体管道安装
【实验室气体管路要求】
1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。
2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。
3、易i燃气体,如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5M;交叉敷设时间距不应小于0.25M。分层敷设时氢气管道应位于上方。
4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。
5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。
6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径,设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。
9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后,气体管道施工,还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫,以确保整个系统的洁净度。
10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。
【实验室气体管路安装检验】
实验室承包商要保证气体管路系统的清洁,所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验,防止管路泄漏。
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