苏州珂锐弘扬流体-集中供气管道安装设计

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，集中供气管道安装设计，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，集中供气管道安装设计哪里好，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室气体的供气方式

采用中压供气，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5MPa，经一级减压后为1MPa（管路压力1MPa），送至用气点，经二级减压后为0.3——0.5 MPa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。

实验室气体管道的材质要求

（1）对所有气体无渗透性

（2）吸附效应很少

（3）对所输送的气体呈化学惰性

（4）能快速使输送的气体达到平衡

注：化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响

316不锈钢是继304不锈钢之后，集中供气管道安装设计哪家好，第二个得到广泛应用的钢种，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，所以我们一直用    316无缝不锈钢管。

气体管道安装工程要求:

(一)工作压力大于或者等于0.1MPa(表压，下同)的;

(二)公称直径大于25mm的;注1:公称直径即公称通径、公称尺寸，代号一般用DN表示。《压力管道元件制造许可规则》:本规则所称公称直径根据相关标准，集中供气管道安装设计厂商，依据不同的管材、管件，可以指公称外径、公称内径、通径和口径、公称尺寸。

(三)输送介质为气体、蒸汽、液化气体、工作温度高于或者等于其标准沸点的液体或者可燃、易i爆、有毒、有腐蚀性的液体的。根据原劳动部《压力管道安全管理与监察规定》和质检总局《压力容器压力管道设计许可规则》TSGR1001-2008的定义，工业管道是指企业、事业单位所属的用于输送工艺介质的工艺管道、公用工程管道及其他辅助管道。