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其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
标准气体的应用
如何更好的使用标准气体, 是标准气体制造商关心的问题。通常在制备某些微量腐蚀性标准气体或微量氧,电子特种气体,氮标准气体时,制备过程可谓是充满了血和泪, 而对于客户来说, 常常因使用不当,造成一些错误的结果、使用标准气体应该做到如下几点:
1、选择减压器和输气管路时,一定要注意材料和气体的相容性, 如在做微量氧,氮标准气体时, 管路不能选择塑料管和橡胶管路而要选择金属管路, 而作腐蚀性气体时,选择未经处理的金属管路会对组分产生吸附;
2、在合适的温度下存放气瓶, 对于易液化气体,要注意贮存温度和使用温度, 避免在低温下易也化气体成分液化;
3、取样前,对压力调解器和管路系统充分清洗,确保取样样品和气瓶中的组份浓度一致;
4、标准气体取样完成后, 要关毕气瓶阀, 避免空气反扩散到气瓶中;
5、注意标准气体的有效期和允许使用压力。
工业混合气是近二十年来出现的新品种,用途非常广泛,特种气体厂,但其分类尚未有统一标准。工业混合气包括自然合成和纯品配制两类。按其状态分为气态混合气体和液态混合气体。按其所含主要危险特性组份,一般可分为可燃性混合气、自燃性混合气、剧i毒性混合气和腐蚀性混合气等。
工业气体的常见物理特性,可归纳为:可压缩性和膨胀性。一定量的气体在温度基本保持不变时,所加的压力越大其体积就会变得越小,若继续加压,气体将会压缩成液体,这就是气体的可压缩性。工业气体通常以压缩或液化状态储存于钢瓶内。气体在光照或受热后,温度升高,分子间的热运动加剧,体积增大,特种气体价格,若在一定容器内,气体受热的温度越高,其膨胀后形成的压力越大,这就是气体受热的膨胀性。压缩气体和液化气体盛装在容器内,如受高温、日晒,气体极易膨胀,特种气体,产生很大的压力,当压力超过容器的耐压强度,就会造成爆i炸。因此,工业气体均具有极大的爆i炸危险性。
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