江苏管道工程公司常用解决方案

连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。当气体的流量已知时，管径的大小取决于允许的流速或允许的摩擦阻力(压力降)。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气体减压阀是气动调节阀的必备配件

高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置，它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多，按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。

气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件，主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值，以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制，因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。

气体减压阀的阀杆，阀瓣，涡轮，手轮，螺母，支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘，油污以及脏物等，对阀门会产生磨损和腐蚀，因此一定要保证阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。

阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫，螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫，甚至用铜丝刷刷洗，知道加工面，配合面显出金属光泽，油漆面显出油漆本身为止。【实验室气体管路安装检验】实验室承包商要保证气体管路系统的清洁，所有气体管路的检验根据标准程序。塑料蝶阀应该要有人专门负责，每班都要检查一次，定期打开冲洗阀进行冲洗，或定期拆卸冲洗，以免脏物堵塞阀门。

1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。

2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。