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洁净车间高纯气体管道的安装、施工？

洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。3、根据实验室的用气量，计算供气压力，流量和管道的内径，所有气体主管道原则不低于9。

高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此，要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:

1.外观的检查工作

(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。

(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。

(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破i裂。

(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行下列外观检查:

1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

2)无锈蚀、蚀斑等现象。

3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。

4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否良好。

5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i证书和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。

6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

8)橡胶、塑料等非金属垫片，应当质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

现在实验室常会用到各类分析仪器，这些仪器都需要使用载气和燃料气，这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器，如气相色谱仪，原子吸收，气—质联用仪，ICP等等，这些仪器需要用到高纯气体，传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式，这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用，但随着近年来实验室投资的不断加大，仪器设备的迅速增加，用气量也逐年增加，传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求，同时分散供气模式带来的实验室布局混乱，钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。    

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。