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气体管道安装

实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。

实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。气体管道安装气体管道（gaspipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。因此，在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上，需要设置膨胀节，使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

实验室气路改造设计有那些要求？

　　1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。

　　2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。

　　3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。

　　4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。

　　5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。

　　6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和耐用。

　　7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。

　　8.为了保证气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。

工业气体在使用上需要注意哪些事项

在使用一氧i化碳气体检测仪的时候要注意事项：

1、检查气体流量、通常为30/h，流量过大或者过小对分析仪结果影响较大

2、更换滤纸：停抽气泵，过滤罐排水

3、检查气路系统中有无漏气现象。抽泣泵膜片有无破损，取样探头密封圈是否破i裂，四通阀、冷凝汽是否损坏等

4、取样探头清洗，取样孔管路疏通

5、检查冷凝器工作是否正常，通常温度调整在3摄氏度范围内

6、检查测量器室看是否脏污，及时清洗。

1、气瓶安全附件完好齐全（包括橡皮圈、安全帽、压力表、阻火器、减压阀、易熔塞） ， 胶皮软管必须完好无老化破损情况，与气瓶接口处应用卡子固定，以防滑脱。 2、氧气、乙i炔不能混合存放（二者应隔开或隔离放置，隔开距离 2 米以上） ，使用时距离 5 米以上，气瓶不可放置在距明火、高温部位较近的地方（距离 15 米以上） ，放置场所应阴 凉通风，并有防倾倒措施。（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。 3、工业气瓶在搬运过程中，严禁在地上滚动，应用手旋转平移。装车时，气瓶应该方向一 致，捆扎牢固。运输必须用危化车辆。氧气、乙i炔严禁混装运输。 4、在上部有动火和高温天气使用气瓶时，应用不燃物体遮盖，高温天气不能在阳光下长时 间曝晒，气瓶使用完毕后，须拆下减压阀、胶皮软管等设施，并戴上安全帽，然后按第 2 条要求放置。 5、乙i炔气瓶在使用时严禁平放在地上。 6、氧气瓶在储存使用过程中严禁接触油脂。 7、切割、焊接作业前，应清理周围易i燃物，以防引燃。 8、动火作业现场应设专人监护，并配置相应的消防灭火设施，如灭火器、水等。 9、存放（或存放过）易i燃易i爆危险品的容器、管线设备不能直接进行动火作业，应进行相 应处理或采用其他安全措施，确认安全后再进行动火作业。 10、在具有一定危险性的场所动火作业，用火单位应使用“用火许可证” ，在落实安全措施 后经负责人审批再进行施工。