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高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。这种联接方法简单，可以拆卸重装，但须在管道的适当地方安装活接头，以便于拆装。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。⑦阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气路改造管道材质及作用

　　高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。

　　主要有铬、镍和钼合金元素。

　　a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性，形成富铬氧化膜;

　　b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性

　　c、镍是奥氏体的形成元素，镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且改善了钢的工艺性能。

管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道，干管是指从总管分送到各单元的管道，支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道，各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计，可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置，将楼层高降到底线，尽量减少输送和排放管道的交叉次数，降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间，方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加，适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理，提升效率，降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量，可采用实验室模块分散式管井，也可采用集中式大型竖井，必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要，曹勇美观的管道系统。

实验室气体的供气方式

　　采用中压供气，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa（管路压力1MPa），送至用气点，经二级减压后为0.3——0.5 MPa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。

　　实验室气体管道的材质要求

　　（1）对所有气体无渗透性

　　（2）吸附效应很少

　　（3）对所输送的气体呈化学惰性

　　（4）能快速使输送的气体达到平衡

　　注：化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响

　　316不锈钢是继304不锈钢之后，第二个得到广泛应用的钢种，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，所以我们一直用    316无缝不锈钢管。