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特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危险性，应确保安全性的特气。公司提供从供气系统；排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以安全为第i一的特气管理输送系统。气体管道安装气体管道（gaspipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。

工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案；逐步成为行业领i先的整体系统供应商。

不同气体配管要求

腐蚀性能较强的气体时，须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。

大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊时组织不发生变化。（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。含碳过高的材料在焊接时，受焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度，导致我们的各项努力全部失去意义。

高纯气体管路的设计要点：

1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。按法兰与管子的连接方式分为以下五种基本类型：螺纹法兰、平焊法兰、对焊法兰、承插焊法兰、松套法兰。

3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。

实验室供气系统设计要点

　　（1）通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器，在气瓶出口装有单向阀，可避免更换气瓶时有空气和水分混入，另外在一端安装泄压开关球阀，将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道，保证仪器用气的纯度。

　　（2）集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定，采用二级减压的方式，一是，经过第i一级减压后，干路压力比气瓶压力大大降低，起到了缓冲管道压力的作用，提高了用气的安全，降低了应用的风险，二是保证仪器供气入口压力的稳定，降低了因为气体压力波动而引起的测量误差，保证了仪器使用的稳定性。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。

　　（3）由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体，如甲i烷，乙i炔，氢气，做这易i燃气体的管路时，应注意管路尽量短，减少中间接头的连接，同时，气瓶一定装入防爆气瓶柜内，气瓶输出端接回火器，可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸，防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口，且有泄漏报警装置，一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。（6）管道敷设要求①输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0。