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气体管路施工技术要求及验收标准？

技术要求

(1)总体设计：管道采用1/4”外径，经过AP处理的高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。

(2)管路设计、规划要点：

气体管路系统应具有良好的气密性，可靠性，可维护性。

1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。

2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。

3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。

4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。

5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口316L不锈钢管道，内表面按规定处理。

6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应保证系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。

7、管道固定件要求坚固，轻巧，耐用。

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如GaAs的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

气体减压阀是气动调节阀的必备配件

高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置，它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多，按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。

气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件，主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值，以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制，因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。

气体减压阀的阀杆，阀瓣，涡轮，手轮，螺母，支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘，油污以及脏物等，对阀门会产生磨损和腐蚀，因此一定要保证阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。

阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫，螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫，甚至用铜丝刷刷洗，知道加工面，配合面显出金属光泽，油漆面显出油漆本身为止。气体管道安装气体管道（gaspipeline）包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。塑料蝶阀应该要有人专门负责，每班都要检查一次，定期打开冲洗阀进行冲洗，或定期拆卸冲洗，以免脏物堵塞阀门。

1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。

2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。