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气体管道安装

气体管道可能承受许多种外力的作用，包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。焊接联接焊接联接的强度和密封性***i好，适用于各种管道，省工省料，但拆卸时必须切断管子和管子联接件。为了保证管道的强度和刚度，必须设置各种支(吊)架，如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长，使膨胀节均匀工作；导向支架使管子仅作轴向移动。

 为了排除凝结水，蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度，一般不小于千分之二。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。对于利用重力流动的地下排水管道，坡度不小于千分之五。蒸汽或其他含水的气体管道在底端设置排水管或疏水阀，某些气体管道还设有气水分离器，以便及时排去水液，防止管内产生水击和阻碍气体流动。给水或其他液体管道在顶端设有排气装置，排除积存在管道内的空气或其他气体，以防止气阻造成运行失常。管道如不能自由地伸缩，就会产生巨大的附加应力。因此，在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上，需要设置膨胀节，使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。常用的保温材料有水泥珍珠岩、玻璃棉、岩棉和石棉硅藻土等。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

实验室气路改造管道材质及作用

　　高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。

　　主要有铬、镍和钼合金元素。

　　a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性，形成富铬氧化膜;

　　b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性

　　c、镍是奥氏体的形成元素，镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且改善了钢的工艺性能。

气体管道怎么安装？

1.气瓶间 设计布局：

a)  气瓶间由于有特殊气体（高危险性、高纯、易i燃易i爆），气体放置应按气体特性分开放置。并配置灭火器及报警装置，由易i燃易i爆气体单独放置，并做好接地防静电措施，为了安全起见建议采用报警i监控系统。

b)  气瓶连接处设立一级调压装置面板，其中气体供气分为单瓶或双瓶带隔膜阀吹扫及欠压控制装置，可实现对面板压力及管道吹扫排空清洗和控制，面板都为不锈钢材质。

c)  减压器及相关管件均需牢固的固定在一级调压装置面板上，面板应设计的紧凑而合理，以减少系统中的死体积，面板应采用全不锈钢材质制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全美观。

d)  气瓶间内存放的气瓶或者气瓶柜采用防倒链的气瓶支架固定，气瓶柜需带声光报警、自动排风装置，气瓶柜及支架为不锈钢材质坚固耐用、美观大方、***。

e)  气瓶间内的气体钢瓶与一级调压装置面板之间采用SS316L高压金属软管或者高压盘管连接无渗透，高压软管（盘管）为柔性软管，以保证连接的方便性；并自带防护钢缆，预防***情况下钢瓶阀损坏等想象带来的高压“抽鞭”事故；

f)  高压软管上的钢瓶接头必需与对应的气体钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。

g)  面板出气端需安装阻火器或者单向阀，阻止气体回火及回流现象，材质均为不锈钢。

h)  如仪器设备对气体纯度要求结净度高，还需安装气体纯化器及过滤器，以保证终端使用气体的纯度。

i)  吹扫排空清洗管道应分类收集、固定牢固一并排放至室外安全地点。