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连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding，同时管内通入同等纯度的Ar，防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。4、所有管路在天花板下面布设，并通过功能柱到中央台，边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中，可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中，不容使用铜制材料的管道附件。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。（9）使用后的空瓶，应移至空瓶存放区，并加上空瓶的标示，严禁空瓶与实瓶混存。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。气体管道安装联接方法管子、管子联接件、阀门和设备上的进出接管间的联接方法，由气体的性质、压力和温度以及管子的材质、尺寸和安装场所等因素决定，主要有螺纹联接、法兰联接、承插联接和焊接等四种方法。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

工业气体到底用在什么地方？

工业气体是指氧、氮、Ar、Ne、氦、Kr、氙、氢、二氧化碳、乙i炔、天i然气等。由于这些气体具有固有的物理和化学特性，因此在国民经济中占有举足轻重的地位，推广应用速度非常快，几乎渗透到各行各业。

工业气体用量多的传统产业有：炼钢、炼铁、有色金属冶炼、化肥生产、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纤维、合成纤维、硅胶橡制品、电缆和合成革等石油化学工业、机械工业中的焊接，金属热处理、氦扦漏等，浮法玻璃生产等。由于这些传统产业在近几年发展迅速，工业气体的用量也达到高峰。（8）气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备，与明火距离不少于10m，氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时，不能放在一起。

工业气体用量正在掘起的产业有：煤矿灭火、石油开采、煤气化和煤液化，玻璃熔化炉、水泥生产窑、耐火材料生产窑，砖瓦窑等工业炉窑、食品速冻，食品气调包装、啤酒保鲜、光学、国i防工业中的燃料、超导材料生产、电子、半导体、光纤生产、农业、畜牧业、鱼业、废水处理、漂白纸浆、垃圾焚烧、粉碎废旧轮胎等环保产业、建筑、气象、文化、文i物保护、体育运动、公i安破案、医i疗保健产业中的冷刀、重危病i人吸氧、高压氧冶疗、人体器管低温冷藏、麻i醉技术及氧吧等。因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀1)湿气腐蚀例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，水分的引入可能来源于客户使用，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中。

工业气体应用正在试验中的产业有：固体氮生产，燃料电池生产，磁性材料生产，超细加工，天然i气发电，压缩天i然气汽车，氢能汽车生产等。

工业气体用量较多的产业，如钢铁、化肥、化工、玻璃及化纤行业均自建气体生产设备，实行自产自销的企业经营方针，一些工业气体用量较少的产业，主要依靠市场购买工业气体。因此工业气体的液体市场正在掘起，应用领域也越来越广泛。