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发布时间:2020-12-01 07:28:00 作者:珂锐弘扬
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。第三、气体管路工程安装中,由于标准气体品种繁多,成分复杂,易i燃易i爆和有毒有害气体的泄漏,都可能产生事故,因此室内安装报警器是实现安全生产的必要条件,安全生产,预防为主。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。(6)管道敷设要求①输送干燥气体的管道宜水平安装,输送潮湿气体的管道应有不小于0。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。
实验室气路改造管道材质及作用
高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。
主要有铬、镍和钼合金元素。
a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性,形成富铬氧化膜;
b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性
c、镍是奥氏体的形成元素,镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性,而且改善了钢的工艺性能。
特气管道工程
特气就是特种气体,指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。为了保证管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气(含21%氧,78%氮,1%水、二氧化碳等),其纯度一般在99.99%(4N)以上。
特气管道施工一般分为主系统,二次配主系统,根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险,只要根据客户要求按照规范去施工,二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工,一般都会在无尘室进行,二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质,我们在无尘室施工,要在客户工程师的陪同下进行,对于无尘室的阀门及类似阀门的开关,不要乱动,无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置,一旦有气体泄露,我们应丢下手中任何工作,通过安全指示撤出无尘室。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。
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