六氟化硫气体之所以有比较好的绝缘性能，是因为六氟化硫气体具有负电性，就是说六氟化硫分子能够吸附气体中的自由电子，而变成负离子，这种负离子的质量远远大于自由电子的质量，因此运动速度大大降低，此外，间隙中自由电子的数量减少了，就难以形成击穿通道。所以其绝缘性能比较好。另外，这种负电性在高温下，也就是在灭弧时也是十分有利的。

对于气体导电性能增强有利于熄弧的原因，可能有点不太好理解，导电性能增强了只会有利于燃弧，怎么会有利于熄弧呢?原因是这样的:导电性能增强了确实有利于燃弧，通过几种气体电弧的伏安特性曲线可以发现，六氟化硫气体的伏安特性曲线i低，也就是说，在电流相同的情况下，六氟化硫气体的电弧电压i低，而电弧能量就是Uh*I，也i低，电弧在电流很小的情况下也能维持，不会发生断裂，这样就不会发生截流现象，这也是六氟化硫气体比较优越的地方;我们知道现在的六氟化硫断路器都是在电弧电流过零时熄灭的，电弧在燃弧时电弧能量小，电弧的温度和分解的气体就相对也较少，这对于电流过零后间隙的绝缘强度的恢复非常有利，使得熄弧后很难发生重燃或复燃，所以六氟化硫气体既有利于燃弧，又有利于熄弧。

此外，六氟化硫气体的负电性(吸附自由电子的特性)和二次复合特性(在电弧中分解的低价氟化物在熄弧后迅速还原成六氟化硫分子)，这些特性也使得六氟化硫气体无论是在起始介质强度、介质恢复速度还是终的介质强度都是比较高的。

法　将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法　氯氟代甲烷和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。