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气体管道工程承受哪些外力的作用?

气体管路工程的管道可能承受许多种外力的作用，包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了保证管道的强度和刚度，必须设置各种支(吊)架，如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。为了排除凝结水，蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度，一般不小于千分之二。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长，使膨胀节均匀工作;导向支架使管子仅作轴向移动。

气体管路工程安装所有的配件管道管路必须采用耐高压特殊材质制作，坚决按照国家规定标准执行。管路连接要使用完全无缝管材连接，采用退火型，避免气体泄漏发生火势。

根据气量、压力、气流选择所使用的管路，管路的使用厚度坚决按照***执行，只需后不需薄。对于所使用的阀门阀球坚决使用高耐用铜材，不可偷工减料。在安装时每个气体管路工程都要有单独的阀门、压力表、减压阀、等。

管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道，干管是指从总管分送到各单元的管道，支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道，各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计，可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置，将楼层高降到底线，尽量减少输送和排放管道的交叉次数，降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间，方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加，适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理，提升效率，降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量，可采用实验室模块分散式管井，也可采用集中式大型竖井，必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要，曹勇美观的管道系统。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。⑥管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片，利用螺栓夹紧垫片保持密封。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。