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高纯气体管路的设计要点：

1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道，需要用保温材料包覆在管道外面，防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。

3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。

气路系统百科知识

      一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立泄露报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。

集中供气系统

集中供气系统又称中央供气系统（Central Gas Supply System），是一种越来越普遍被人们采用的一种供气方式。它主要是由气源，切换装置，调压装置，终端用气点，监控及报警装置组成。

简而言之，集中供气系统将中央储气设备中的气体经切换装置并调压后通过管路系统输送到各个分散的终端用气点。工厂车间和实验室过去分散的钢瓶供气方式变得越来越过时并逐渐被废弃不用。当代大型工厂车间中的各类耗气设备和大多数实验室中的各种分析仪器如色谱仪或质谱仪都需要连续使用载气和燃料气，因此车间和实验室的管理者需要考虑如何实现这些气体的连续、稳定和安全的供给，可以用高压钢瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统或综合上述几种方法来进行供气。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。基于安全和效率因素，不考虑经仪经济性因素，集中供气系统变得越来越普遍，并成为当今实验室设备中高纯气体的可靠连续的供应源。在某些情况下，当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如钢瓶、杜瓦瓶和液体储槽

放置在工作区外的指i定区域，然后将气体通过管道系统输送至厂房内，并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。