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发布时间:2020-10-21 07:13:00 作者:珂锐弘扬





各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。

实验室供气系统设计要点
(1)通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,保证仪器用气的纯度。
(2)集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力大大降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是保证仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,保证了仪器使用的稳定性。为了保证管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。
(3)由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。4、所有管路在天花板下面布设,并通过功能柱到中央台,边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。

现在实验室常会用到各类分析仪器,这些仪器都需要使用载气和燃料气,这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。联接时,一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳,然后再用石棉水泥或铅等材料填实,还可在承插口内填入橡胶密封环,使其具有较好的柔性,容许管子有少量的移动。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,ICP等等,这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。
目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

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