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焊接联接

焊接联接的强度和密封性不错，适用于各种管道，省工省料，但拆卸时必须切断管子和管子联接件。　气体管道安装要求

实验室的气体供应不同于一般工厂的要求，首先表现在仪器设备对气体的纯度要求较高，一般工作气体要求达到99.999%以上，其次气体的供应必须连续，输出压力平稳，气体的压力波动可能导致仪器设备无法正常工作，气体的不连续供应甚至可能导致仪器设备故障，因此实验室气体管路的设计必须非常严格。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。

1、 所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成。铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方（比如通风柜）。

2、 所有的管路、阀门，压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。

3、 根据实验室的用气量，计算供气压力，流量和管道的内径，所有气体主管道原则不低于9.52mm,管路末端,原则上直径不低于6.35mm。

4、 所有管路在天花板下面布设，并通过功能柱到中央台，边台的气体管路隐藏在实验工作台后面服务通道内。

5、 易i燃气体（如乙i炔、氢气等）需要和其它气体分开，单独引入。

6、 所有管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。

7、 每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需气体压力控制指示装置。

8、 引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。

9、 气相色谱工作台上均匀的排放各种气体的出口***，管径为3.18mm，在氦气管路前面建议安装气体净化装置。

10、工作台上气体出口由单独的阀门来控制。

11、所有气体出口为不锈钢阀门。

12、气体管路每隔1.5米的距离,都要有明确标示,同时指示气体的流向.

13、气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。

14、每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架，另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

气路系统百科知识

      一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立泄露报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。