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标准气体的制备过程

无论是采用压力法，体积法或称量法制备瓶装标准气体， 均需通过下列过程实现。充装----滚动混匀----分析检测----给出量值(检验报告或标准物质证书)。通过压力法/体积法或称量法实现混合气体充装已不再是难题， 只要具备高精度的压力表和高精度的天平、充装是很容易实现的。如何使标准气体量值准确和有效， 是所有标准气体制造商和研究机构面临的任务。

三氟甲i烷 （CHF3)

包装：采用40L、47L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。

用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。

理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲i烷具有窒息麻i醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻i伤。

注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体***库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

（D2)

包装：采用44L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到2-8L的气瓶中。

用途：在半导体、平板显示器、太阳能电池等电子行业在硅烧结或退火工艺中置换氢；应用于核子融合反应。

理化性质: D2是普通氢较重的稳定同位素。它是无色、无味、无毒的可燃气体。其沸点为-249.5℃。与分子氢一样，双原子D2分子也存在正、仲同分异构现象。室温下，D2正-仲异构体混合物的平衡组成为2：1，这种D2称为常态D2。降低温度，有利于向正D2转化。在20.4K时，平衡混合物含正D297.8%，此时的D2称为平衡D2。

注意事项：

储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过80％。应与氧化剂、卤素分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备。

密闭操作，加强通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员穿防静电工作服。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、卤素接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。