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气体管道工程有哪些工艺——普莱斯特

气体管路知识

气体管道工程是一项需求高质量的工作，不能有一点的失误。那么在这个工程中，关于各个方面有啥需要呢?相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。首先气体管道均选用全自动无缝焊接管路，还有风险易i燃气体装备报警系统，放空处装置阻火器以确保安全，气体管道工程的管路应满足试验需要，走线合理、安全、漂亮，气体管路工程的材质要满意承载气体的特别需要。

下面我们来简单的介绍下气体管道工程的有关工艺：

1、一切气体管路都由高质量的、***退火型、无缝衔接的不锈钢管SS-316L构成。铜管只使用在气体管路的结尾，对气体纯度不是太严格需要的地方(比方通风柜)。

2、一切的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成，而且都是规范配件。

3、一切气体干管的直径为3/8英寸(仪器空气干管直径为1/2英寸)。管路结尾，直径为1/4英寸。

4、一切管路在天花板下面布设，并经过效劳柱到中央台。边台的气体管路隐藏在试验作业台后边效劳通道内。

5、易i燃气体，如乙i炔， 需要和其它气体分开，独自引进。

气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法？

气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情，如果不加以解决会影响整个工程的进展，甚至造成更大的损失，那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗，当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?

产生此类故障的原因有三种：

第i一，是流量计后气路有泄漏;

第二，是气路气阻太小;

第三，是流量控制阀件损坏。

实验室气体管道工程

其检查方法如下：

首先堵住检测器的气路出口，观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零，需要考虑对漏气处进行检查，具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。

气体管道工程

此时应观察一下流量调节阀转动时，流量是否 有较大的变动，若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题，按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

气体汇流排体现了哪些优势?

气体汇流排是一种集中式或空气供给装置，它是唯i一的通过阀，多缸气管道连接到母线槽，以便在同一时间，在这些气体钢瓶。或减压后，后用气管道末端稳定，确保空气压力稳定气体用具的调节，实现不间断供气的目的。气车适用于大型企业的天i然气消费，原则是瓶装气排气管的软管卡箍，通过输入一个总线减压后，调节，通过管道输送至网站的使用，本产品适用于介质中的氧，氢，氮，空气，液i化石i油气，溶解乙i炔气体，主要用于工矿企业，医i疗机构，研究机构和其他天i然气消费大单位。因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀1)湿气腐蚀例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，水分的引入可能来源于客户使用，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中。

1、采用总线可以节省筒更换次数，降低了工人的劳动强度，节约了劳动成本。

2、让高压气体集中管理，可以减少安全隐患。

3、可以节省空间，空间的合理使用更好的。

4、容易气体汇流排管理。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。为了排除凝结水，蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度，一般不小于千分之二。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。5米左右，气体管路就需要有支架，另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。