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苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

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江苏管道工程性能诚信企业「珂锐弘扬」

发布时间:2022-09-05 11:09:00        作者:珂锐弘扬







气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?

气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成更大的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?

产生此类故障的原因有三种:

i一,是流量计后气路有泄漏;

第二,是气路气阻太小;

第三,是流量控制阀件损坏。

实验室气体管道工程

其检查方法如下:

首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。

气体管道工程

此时应观察一下流量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。







高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。气体管道安装气体管道(gaspipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设在气体入口室。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。13、气体管路的支架要求耐腐蚀,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。








管道系统的布置方式

各种管网都是由总管、干管和支管三部分组成。 总管是指从室外管网到实验室内的管道,干管是指从总管分送到各单元的管道,支管是指从干管连接到实验台的实验设备的管道,各种管道一般总是以水平和垂直两种方式布置。

管道系统设计的考虑因素

科学合理的管道系统设计,可以较低的成本实现不错的功能与效果。通常考虑一下因素。

1.管道系统的布置方式

合理布置垂直输送、水平输送、排放管道和管井的位置,将楼层高降到底线,尽量减少输送和排放管道的交叉次数,降低建筑投资成本。

2.管道系统的维护问题

必须预留维修的空间,方便维修管道系统的控制阀门和断路器等关键部件。

3.管道系统未来的改变

必须预留空间和通道以允许对公用服务设施进行改变和增加,适应未来发展的需要。

4.管道系统的效率

尽量使各种管线短捷、经济合理,提升效率,降低运行费用与管道系统的投资费用。

5.建筑的形象设计

管道系统的设计直接影响建筑物的高度和体量,可采用实验室模块分散式管井,也可采用集中式大型竖井,必须结合建筑物的总体形象与实验楼的实际需要,曹勇美观的管道系统。







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