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发布时间:2022-09-03 06:42:00 作者:珂锐弘扬
气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生大大小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成更大的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一下流量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。(8)气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
工业气体到底用在什么地方?
工业气体是指氧、氮、Ar、Ne、氦、Kr、氙、氢、二氧化碳、乙i炔、天i然气等。由于这些气体具有固有的物理和化学特性,因此在国民经济中占有举足轻重的地位,推广应用速度非常快,几乎渗透到各行各业。
工业气体用量多的传统产业有:炼钢、炼铁、有色金属冶炼、化肥生产、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纤维、合成纤维、硅胶橡制品、电缆和合成革等石油化学工业、机械工业中的焊接,金属热处理、氦扦漏等,浮法玻璃生产等。因此,在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上,需要设置膨胀节,使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。由于这些传统产业在近几年发展迅速,工业气体的用量也达到高峰。
工业气体用量正在掘起的产业有:煤矿灭火、石油开采、煤气化和煤液化,玻璃熔化炉、水泥生产窑、耐火材料生产窑,砖瓦窑等工业炉窑、食品速冻,食品气调包装、啤酒保鲜、光学、国i防工业中的燃料、超导材料生产、电子、半导体、光纤生产、农业、畜牧业、鱼业、废水处理、漂白纸浆、垃圾焚烧、粉碎废旧轮胎等环保产业、建筑、气象、文化、文i物保护、体育运动、公i安破案、医i疗保健产业中的冷刀、重危病i人吸氧、高压氧冶疗、人体器管低温冷藏、麻i醉技术及氧吧等。⑦阀门和附件的材质:对氢气和煤气管道不得采用铜质材料,其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。
工业气体应用正在试验中的产业有:固体氮生产,燃料电池生产,磁性材料生产,超细加工,天然i气发电,压缩天i然气汽车,氢能汽车生产等。
工业气体用量较多的产业,如钢铁、化肥、化工、玻璃及化纤行业均自建气体生产设备,实行自产自销的企业经营方针,一些工业气体用量较少的产业,主要依靠市场购买工业气体。因此工业气体的液体市场正在掘起,应用领域也越来越广泛。
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