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气体管道安装

实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。

实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。10、供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。3、根据实验室的用气量，计算供气压力，流量和管道的内径，所有气体主管道原则不低于9。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀1)湿气腐蚀例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，水分的引入可能来源于客户使用，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置，此净化装置需要并联一路，用单独的阀门隔离，以方便对过滤装置进行维修。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

实验室气体管道工程系统 

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

实验室集中供气系统的特点：安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。

实验室集中供气系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体，如氢气、乙i炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

集中供气操作原理：实验室供气有二级减压和多级减压。

二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般推荐采用二级减压，这样可以保证气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果(推荐)。

多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压的目的。减压效果同二级减压效果差不多，但成本会更高。

实验室集中供气包括：气体泄漏报警与低压报警。

气体泄漏报警：对于易i燃、易i爆、有毒、腐蚀性气体，在气瓶间与使用点处安装泄漏侦测探头，如果气瓶房气体发生泄漏的话，感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上，并发出预警的声音，这样用户就可以发即时维修。

低压报警：当用户在实验室工作时，需要知道气体是否快要用尽，气瓶压力是否足够，这对实验室实现不间断气体供应是很重要的。