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发布时间:2022-05-09 11:36:00 作者:珂锐弘扬
配管的准备工作
(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管,下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料,分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直,切口表面平整,不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗,清洗前先应研磨、试压合格,然后拆成零部件,并在CCl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门,应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂,并使溶剂流经阀门各处,阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。
(5)采用普通不锈钢管时,其表面若粘附有油污,安装后清洗十分困难,应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作,必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
(6)氧气管路的阀门、附件等,应当严格禁油,并在安装前按有关要求严格脱脂。
3.金属管道的连接
(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:
1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。
2)铜管。在半导体企业中,个别生产工艺如GaAs的操作,为了防止产生器件电阻,不允许使用铜制管路及其附件,只能使用不锈钢材料。
气体管道工程泄漏检查的方法有哪些?
气体管道(gas pipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设在气体入口室。
Ai级试漏
对气路严重泄漏的粗略观察。通常在气源打开并稳定之后,不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声,如听到明显的漏气声,说明系统有大漏!必须依据漏气声,追查出泄漏处,并加以排除。引起系统大漏的常见原因是:气路接头没上紧,气路中管路开裂及没加合适的垫片等。铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)。查找气路的严重泄漏,也可在流 路的流量开到顶值时,用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
B级试漏
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零,即可认为此气路B级试漏合格。如转子不能降到零,可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
C级试漏
对气路中极i小漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察系统压力表,不得在半小时之内有5kPa(相当于0.05kgf/cm2)以上的下降。(5)空瓶与实瓶分区放置,气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。此时系统压力应在0.25MPa(相当于2.5kgf/cm2)以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时,可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处,而气路阀件内部的泄漏也时有发生,至于管路中间的泄漏,除了急转弯处以外是很少见的。
实验室气路改造管道材质及作用
高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。
主要有铬、镍和钼合金元素。
a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性,形成富铬氧化膜;
b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性
c、镍是奥氏体的形成元素,镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性,而且改善了钢的工艺性能。
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