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发布时间:2022-04-16 17:30:00 作者:珂锐弘扬
洁净车间高纯气体管道的安装、施工?
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。气体管道安装在实验室设计领域中,实验室供气系统的规划设计是相当重要的。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的质量。因此,要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内精心保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑,无局部凹陷,无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,螺纹处密封、保护是否良好。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i证书和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的深度。
8)橡胶、塑料等非金属垫片,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。
特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。焊接联接焊接联接的强度和密封性***i好,适用于各种管道,省工省料,但拆卸时必须切断管子和管子联接件。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。联接时,一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳,然后再用石棉水泥或铅等材料填实,还可在承插口内填入橡胶密封环,使其具有较好的柔性,容许管子有少量的移动。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
气体减压阀是气动调节阀的必备配件
高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置,它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多,按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。
气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件,主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值,以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制,因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。
气体减压阀的阀杆,阀瓣,涡轮,手轮,螺母,支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘,油污以及脏物等,对阀门会产生磨损和腐蚀,因此一定要保证阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。
阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫,螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫,甚至用铜丝刷刷洗,知道加工面,配合面显出金属光泽,油漆面显出油漆本身为止。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。塑料蝶阀应该要有人专门负责,每班都要检查一次,定期打开冲洗阀进行冲洗,或定期拆卸冲洗,以免脏物堵塞阀门。
1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。
2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。
气路系统结构及工作原理
气压系统由空压机、干燥器、滤清器、自动排水器、防冻器及各类控制阀件组成,压缩空气经多级净化处理后,供底盘行驶及车上作业使用。
一. 结构特点 气压系统主要由以下组成: ? 压缩空气气源 ? 动力系统控制气路 ? 底盘气路 ? 绞车气路 ? 司钻控制 压缩空气气源整车共用,底盘气路和绞车气路均为相对独立管路,并相互锁定;分动箱的动力操作手柄在切换发动机动力时,同时切换压缩空气气源,钻机车在行驶状态接通底盘气路,钻修作业接通绞车气路。这些关系到你所要测验的物质的报告精度,如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以,那么建议用国内的报告精度,否则,必须选择国外的品牌,因为国内的品牌对这一方面还处于刚开发起步阶段。当二者其一管路接通压缩空气气源时,另外一路则被切断压缩空气气源,确保设备操作安全,减少气路管线泄漏
二. 压缩空气气源 1. 空气压缩机,往复活塞结构,4缸V形排列;2台,分别安装在2台发动机右侧 前部,由曲轴端皮带轮驱动;强制水冷,润滑,冷却管线与发动机冷却水道相连,润滑管线与发动机润滑系统相连。1、所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成。 2. 调压阀,安装在空气压缩机缸体侧部,调定控制气压系统空气压力,调定值0.8 ±0.05 MPa,当系统气体压力升高,达到调定值时,调压阀动作发出气动信号,分两路,一路信号接通两台空气压缩机卸荷阀,顶开各气缸进气阀门,空压机置空负荷运转状态,停止向气压系统供气;另一路信号接通两台干燥器排泄口,干燥器储气室内的干燥空气迅速反向流动流,吸附干燥剂层的水份,迅速排出干燥器体外,使其干燥剂再生。系统压力低于调定值,调压阀气信号消失,空压机卸荷阀复位,空压机重新进入正常工作状态,继续向系统供应压缩空气,同时,干燥器排泄口关闭,干燥器重新开始工作,吸附干燥系统压缩空气。
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