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发布时间:2022-04-15 03:33:00 作者:珂锐弘扬
实验室气体的危险性:
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2、多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
4、多数气瓶出口压力可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激i射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。实验室集中供气系统已成为实验室的主流,其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高,工作流程更优化。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
实验室供气系统设计要点
(1)通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,保证仪器用气的纯度。
(2)集中供气系统采用二级减压保证压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力大大降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是保证仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,保证了仪器使用的稳定性。对日用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。
(3)由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及时报警并将气体排到室外。此外,对于供应多台分析仪器的气体管路,另外还需气体压力控制指示装置。
气体管道工程施工组织都有哪些?
1.材料:根据图纸设计的参数要求,我们要准备相应材质的材料(管子、三通、弯头、阀门等)管径的大小,管壁的厚度以及相应的辅助材料(不常用数量少的材料要特别注意)。
2.人员工具:根据施工工地的工作量,施工的工期配备相应的技工和相应的辅助工并配备相应的施工工具。做好工具的分类方便领用
3.机具:机具在施工过程中是不可缺少的,我们要根据施工的要求选择相应的机具,对机具操作人员进行相应的培训考核,以保证对机具的正确使用。
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